- Rasterscan-Anlage
- elektronpluoštis rastrinis litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster-scan electron-beam lithography equipment vok. Rasterscan-Anlage, f rus. установка растровой электронно-лучевой литографии, f pranc. équipement de lithographie à faisceau d'électrons avec balayage de trame, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.